原标题:亦庄诞生了国内首套高能激光器

          本报讯(实习记者 江志颖)3月29日，来自北京科益的好消息，公司自主开发设计生产的第一台高能准分子激光器成功通过出厂验收。本产品亦庄智能制造填补了国内准分子激光技术领域的空白，打破了国外厂家对该技术产品的长期市场垄断。

          北京科益生产研发中心副总经理江瑞告诉记者：您现在看到的大型设备是科益虹源自主研发的准分子激光器。它主要提供激光转换所需的电子能量，这是一种高强度的电子能量，因此这是一个强电模块；中间部分是关键的光学核心模块，它就是把高压的电能转化成高强度的光能；底下的就是关键的控制模块和一些支撑模块，包括配水、配气等等，它可以说是整台激光器的“大脑”，控制着整台激光器的运作。

          科益虹源有光刻193三种主要产品nm准分子激光器，光刻248nm准分子激光器和浸没式193nm准分子激光器。已经掌握了重频4kHz的193nm准分子光刻光源的核心技术，并开发了原理原型。这种定型光源产品主要用于90nm和65nm这种光刻机在以下节点占据主要地位，并在更多i-Line升级领域逐渐占据了更多的市场。.随着0的不断推进，工业智能领域将使用90个芯片nm完成光刻机。248nm产品技术基础及193nm相关性强，技术难度小，开发成本低，周期快。在腔体设计和光学设计中，产品开发可以快速完成，并推向市场。

      也是三城一区科技创新成果转化落地的一个例子。也是作为“三城一区”科技创新成果转化落地的一个实例。

      目前，该国70%的专利来自我们的小团队。目前国家在该领域里70%的专利都出自我们这个小团队。”

          科益宏源总经理杨俊红告诉记者，公司生产的第一台高能准分子激光器成功通过工厂验收后，将为中国科学院西南地区最大的研究所——中国科学院光电技术研究所提供服务。

          三城主要围绕原创创新和重大关键技术创新，为先进产业建设提供生活水源和技术支持；一区与三个科学城市相连，使三个科学城市的科技成果在这里集中转化，形成加快高端产业聚集的趋势。北京经济技术开发区管理委员会副主任陈晓南说：北京亦庄已成为先进产业的集聚区，形成了12英寸28纳米的集成电路芯片，这是世界上第一梯队；在新能源汽车、奔驰发动机等核心部件的制造和生产中形成了较大的产业；以京东为代表的显示技术已达到4分辨率K，到2022年北京冬奥会京冬奥会上K显示技术和直播节目。此外，北京亦庄在医疗制药和医疗器械方面也非常独特，形成了产业基础、服务体系和先进产业的发展环境。未来，这里将重点转化三个科学城市的科技成果，加快高端产业聚集，努力打造北京亦庄、中国亦庄、世界亦庄。